বিবরণ

অনুসন্ধান পাঠান

আধা{0}}পরিবাহীর জন্য একটি EDI জল পরিশোধন প্ল্যান্ট সাধারণত একটি অতি বিশুদ্ধ জল (UPW) সিস্টেমের অংশ৷ এই প্রেক্ষাপটে, EDI হল RO-এর পরে "আয়ন-রিমুভাল পলিশিং স্টেপ" যা আপনাকে অত্যন্ত কম পরিবাহিতা পৌঁছাতে সাহায্য করে-তারপর অতিরিক্ত UPW পলিশিং ফ্যাব প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য TOC, সিলিকা/বোরন, দ্রবীভূত গ্যাস, ব্যাকটেরিয়া এবং কণাগুলিকে সরিয়ে দেয়৷

কেন ইডিআই সেমিকন্ডাক্টরের জন্য স্ট্যান্ডার্ড

প্রথাগত আয়ন-এক্সচেঞ্জ রজন বেডগুলি অনেকগুলি জটিল প্রযুক্তিগত সুবিধার কারণে সেমিকন্ডাক্টর প্ল্যান্টে ইডিআই দ্বারা প্রতিস্থাপিত হচ্ছে:

জিরো আয়নিক লিকেজ: স্ট্যান্ডার্ড রজন বেডের বিপরীতে যা আয়নগুলি নিঃশেষ হয়ে যাওয়ার সাথে সাথে "লিক" করতে পারে, ইডিআই একটি ধ্রুবক, উচ্চ-বিশুদ্ধতা প্রদান করে কারণ রজন ক্রমাগত বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের দ্বারা পুনরুত্পাদিত হয়।
রাসায়নিক-মুক্ত পরিবেশ: সেমিকন্ডাক্টরগুলির জন্য একটি অবিশ্বাস্যভাবে স্থিতিশীল পরিবেশ প্রয়োজন। ইডিআই বিপজ্জনক অ্যাসিড এবং কস্টিকসের পরিবর্তে বিদ্যুৎ ব্যবহার করে, রাসায়নিক ধোঁয়া বা দুর্ঘটনাজনিত ছিটানোর ঝুঁকি দূর করে যা "ক্লিন রুম" বায়ুকে দূষিত করতে পারে।
নিম্ন TOC এবং সিলিকা অপসারণ: EDI দুর্বলভাবে আয়নিত প্রজাতি যেমন সিলিকা ($SiO_2$) এবং বোরন অপসারণ করতে অত্যন্ত কার্যকর, যেগুলিকে ছিনতাই করা কুখ্যাতভাবে কঠিন কিন্তু সেমিকন্ডাক্টর ফলনের জন্য ধ্বংসাত্মক।
মডুলার স্কেলেবিলিটি: সেমিকন্ডাক্টর "ফ্যাবস" বিশাল। ইডিআই সিস্টেমগুলি মডুলার, যা প্রকৌশলীদের কাজ করা লিথোগ্রাফি বা এচিং সরঞ্জামের সংখ্যার সাথে মেলানোর জন্য জলের উত্পাদন উপরে বা নীচে স্কেল করার অনুমতি দেয়।

আধা-পরিবাহীর জন্য সাধারণ EDI জল পরিশোধন প্ল্যান্ট

একটি সেমিকন্ডাক্টর সুবিধায়, ইডিআই প্ল্যান্ট হল পলিশিং লুপের "হার্ট", রিভার্স অসমোসিস (RO) পর্যায় এবং ফিল্টার ব্যবহারের চূড়ান্ত বিন্দু-এর মধ্যে বসে:

প্রাথমিক চিকিৎসা (ডাবল-পাস RO): 99% বাল্ক দূষক অপসারণ করে। দ্বিতীয় RO পাস থেকে উচ্চ-গুণমানের প্রবেশ ইডিআই-এর জন্য ফিড ওয়াটার হিসেবে কাজ করে।
ডিগ্যাসিফিকেশন: দ্রবীভূত $O_2$ এবং $CO_2$ সরিয়ে দেয়। এটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ কারণ দ্রবীভূত গ্যাসগুলি ওয়েফার পৃষ্ঠে বুদবুদ সৃষ্টি করতে পারে এবং ইডিআই-এর কার্যকারিতায় হস্তক্ষেপ করতে পারে।
ইডিআই মডিউল: জল 15-18 M$\\Omega$·সেমি পর্যন্ত পালিশ করা হয়। বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র নিশ্চিত করে যে আয়ন-বিনিময় রজন স্থায়ীভাবে "চার্জড" অবস্থায় থাকে।
UV এবং আল্ট্রাফিল্ট্রেশন (UF): 18.5 nm বা 254 nm UV তরঙ্গদৈর্ঘ্যে চূড়ান্ত "পলিশিং" যেকোন ট্রেস অর্গানিক (TOC) এবং UF মেমব্রেনকে ধ্বংস করার জন্য যেকোন অবশিষ্ট সাব-মাইক্রোন কণাকে ধরতে।

মূল ডিজাইন পয়েন্ট যা সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ

EDI-এর ফিড অবশ্যই খুব পরিষ্কার হতে হবে: কম কঠোরতা, কম সিলিকা স্কেলিং ঝুঁকি, কম অক্সিডেন্ট (ক্লোরিন), কম SDI।
ডিগাসিং (CO₂ অপসারণ) প্রায়ই প্রতিরোধ ক্ষমতা উন্নত করে এবং EDI লোড কমায়।
উপাদান এবং স্বাস্থ্যবিধি: UPW লুপগুলি সাধারণত উচ্চ-বিশুদ্ধতা সামগ্রী ব্যবহার করে (যেমন, PVDF/PFA/EP-বিশেষের উপর নির্ভর করে গ্রেড SS) এবং দূষণ প্রতিরোধ করার জন্য ধ্রুবক পুনঃপ্রবর্তন।
মনিটরিং: প্রতিরোধ ক্ষমতা, TOC, সিলিকা, DO, কণার সংখ্যা, প্রবাহ/চাপ, তাপমাত্রা-প্লাস অ্যালার্ম/ট্রেন্ডিং।

আপনি যদি আমাকে এই 4টি আইটেম বলেন, আমি সেমি-পরিবাহীর জন্য একটি উপযুক্ত EDI জল পরিশোধন প্ল্যান্টের পরামর্শ দিতে পারি:

প্রয়োজনীয় UPW প্রবাহ (m³/ঘণ্টা বা m³/দিন)
কাঁচা জলের উৎস + টিডিএস/সিলিকা (যদি জানা থাকে)
ব্যবহার করুন: ফ্যাব UPW (প্রসেস) বনাম ইউটিলিটি (স্ক্রাবার/কুলিং)
যেকোন টার্গেট স্পেসিক্স আপনাকে অবশ্যই পূরণ করতে হবে (প্রতিরোধিতা/TOC/সিলিকা/কণা)